智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer 智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer

本院覽號：02T- 880629

創作人：黃英碩、張嘉升

智財權：專門技術

摘要：

掃描探針顯微術 (Scanning Probe Microscopy, SPM）包括了掃瞄穿隧顯微術(Scanning Tunneling Microscopy, STM)。原子力顯微術（Atomic Force Microscopy, AFM），磁力顯微術(Magmetic Force microscopy, MFM)等，這些技術的構造、操作方式類似，主要差異在探頭結構及探頭量測技術。SPM具及家解析度，如STM、AFM有原子解析能力，而不同探頭給予我們不同物性（表面高低、原子力、詞性、光電特性等）的測量，這對基礎學術研究及工業研發、偵測是一重要分析儀器，很多功能是目前其他技術無法達到的。STM是SPM中最早發明的，發明人獲頒1986年諾貝爾物理獎。目前我們實驗室已具備STM的完整技術及部分SPM探頭技術。

可能的應用範圍：

工業界分析研發及偵錯：如半導體廠、磁性、光電材料、元件廠（如磁碟、光碟製造廠）。

此項發明的優點：

由於奈米材料及奈米元件具有非常獨特的性質，可以被開發與利用的價值很大，但因尺寸極小，使它們的觀察成為科技上的艱鉅挑戰。「多功能原子力顯微儀」正是解決此問題的一大利器，它能提供奈米尺寸的解析度，舉凡光觸媒顆粒、病毒、DNA、碳奈米管、IC結構、及有機薄膜等樣品，都能得其表面形貌，另還能利用它從事多種物化性質的量測，也可以在某些樣比表面上製作奈米尺寸結構，因此是奈米科技研究中不可或缺的重要檢測儀器及製作工具。 傳統顯微術中以光學顯微術及掃瞄電子顯微（SEM）最重要，上表作SPM與此二技術的比較。另外，SPM能測得很多物性是該二技術所無法量取。成本上，SPM較光學顯微鏡昂貴，但較SEM便宜。

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