智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer 智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer

本院覽號：02A-980626

創作人：黃英碩、胡恩德、Hartmut.Illers、Hans Urich Danzebrink

智財權：TW I415121、US 8606426、CN 1653830

摘要：

一種自動對準與抗飄移機制用於量測儀器中訊號緩慢飄移之補償。材料受熱膨脹或機械應力釋放是造成緩慢訊號飄移的主要因素，這樣的緩慢飄移可透過自動對準與抗飄移機制補償。量測探頭可藉由此機制維持其最偵測靈敏度，用於偵測樣品表面的機械動態震動，例如微懸臂樑或任何使用微機電製程所製作的微結構。

可能的應用範圍：

1. 掃描探針顯微術之熱飄移補償
2. 生化感測器之熱飄移補償
3. 微機電結構檢測
4. 微、奈米級定位致動器回饋之熱飄移補償

此項發明的優點：

1. 可有效降低因環境變化而造成之訊號飄移
2.  設置簡單，便於應用在現有儀器上

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