本院覽號:02A-980626
創作人:黃英碩、胡恩德、Hartmut.Illers、Hans Urich Danzebrink
智財權:TW I415121、US 8606426、CN 1653830
摘要:
一種自動對準與抗飄移機制用於量測儀器中訊號緩慢飄移之補償。材料受熱膨脹或機械應力釋放是造成緩慢訊號飄移的主要因素,這樣的緩慢飄移可透過自動對準與抗飄移機制補償。量測探頭可藉由此機制維持其最偵測靈敏度,用於偵測樣品表面的機械動態震動,例如微懸臂樑或任何使用微機電製程所製作的微結構。
可能的應用範圍:
- 掃描探針顯微術之熱飄移補償
- 生化感測器之熱飄移補償
- 微機電結構檢測
- 微、奈米級定位致動器回饋之熱飄移補償
此項發明的優點:
- 可有效降低因環境變化而造成之訊號飄移
- 設置簡單,便於應用在現有儀器上
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