本院覽號：02A-980626
創作人：黃英碩、胡恩德、Hartmut.Illers、Hans Urich Danzebrink
智財權：TW I415121、US 8606426、CN 1653830
摘要：
一種自動對準與抗飄移機制用於量測儀器中訊號緩慢飄移之補償。材料受熱膨脹或機械應力釋放是造成緩慢訊號飄移的主要因素，這樣的緩慢飄移可透過自動對準與抗飄移機制補償。量測探頭可藉由此機制維持其最偵測靈敏度，用於偵測樣品表面的機械動態震動，例如微懸臂樑或任何使用微機電製程所製作的微結構。
可能的應用範圍：
- 掃描探針顯微術之熱飄移補償
- 生化感測器之熱飄移補償
- 微機電結構檢測
- 微、奈米級定位致動器回饋之熱飄移補償
此項發明的優點：
- 可有效降低因環境變化而造成之訊號飄移
- 設置簡單，便於應用在現有儀器上
智財技轉處聯絡人：陳虹遐 / 02-2787-2583 / ethe66@gate.sinica.edu.tw