本院覽號:02A-941226
創作人:黃英碩、胡恩德、黃光裕、洪紹剛
智財權:TW I303442
摘要:
創新一體式多功能探針夾持機構應用於原子力顯微鏡(AFM)之探針的固定,可對探針施予一高頻之微小震動,以滿足不同掃瞄模式之需求。此探針夾持機構的結構簡單緊緻、體積小、質量輕。可大幅提高原子力顯微鏡光路設計的彈性。
可能的應用範圍:
- SPM 光路系統
- 奈米測距
- 奈米定位
此項發明的優點:
- 結構簡單
- 比同等級產品精密度更高
- 體積小不佔空間
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