智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer 智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer

本院覽號：02A-941226

創作人：黃英碩、胡恩德、黃光裕、洪紹剛

智財權：TW I303442

摘要：

創新一體式多功能探針夾持機構應用於原子力顯微鏡（AFM）之探針的固定，可對探針施予一高頻之微小震動，以滿足不同掃瞄模式之需求。此探針夾持機構的結構簡單緊緻、體積小、質量輕。可大幅提高原子力顯微鏡光路設計的彈性。

可能的應用範圍：

1.  SPM 光路系統
2.  奈米測距
3. 奈米定位

此項發明的優點：

1. 結構簡單
2. 比同等級產品精密度更高
3. 體積小不佔空間

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