本院覽號:02A-960514
創作人:郭鴻曦 、黃英碩 、 鄭天佐
智財權:US 7,737,414 B2、TW I381164、JP 5421541
摘要:
本發明是一完整、簡單可靠的方法製備具有單原子尖銳度的銥針。此單原子針可以成為理想的離子原、同調電子束產生源,或一理想的的掃瞄探針。 既有技術製備單原子金屬針的過程複雜,必須以特殊技巧、經過繁複的手續,方能達成,而所製備的單元子針,其針尖結構卻不具有熱及化學穩定性,容易毀損,也無法再生。本技術則是一種簡便可靠的方法,在同一腔體內重生超過百次,因此本發明與現有已知技藝相較,極具工業應用價值。
可能的應用範圍:
當銥單元子針為離子束源時,可應用於:
- 聚焦離子束
- 離子顯微儀
- 二次離子質譜儀
- 離子佈植機
- 離子顯微儀等。
當銥單元子針為電子槍時,可用於:
- 電子全像術
- 場發射電子顯微鏡
- 掃瞄探針顯微儀
- 電子能量光譜儀
- 電子繞射顯微鏡
- 低能量電子顯微儀
- 電子干涉儀
- 電子微影機
此項發明的優點:
以真空附氧法製備單顆原子針,具簡易、可靠、低成本、可量化生產等特點。
智財技轉處聯絡人:陳虹遐 / 02-2787-2583 / ethe66@gate.sinica.edu.tw