智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer 智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer

本院覽號：02A-960514

創作人：郭鴻曦 、黃英碩 、 鄭天佐

智財權：US 7,737,414 B2、TW I381164、JP 5421541

摘要：

本發明是一完整、簡單可靠的方法製備具有單原子尖銳度的銥針。此單原子針可以成為理想的離子原、同調電子束產生源，或一理想的的掃瞄探針。 既有技術製備單原子金屬針的過程複雜，必須以特殊技巧、經過繁複的手續，方能達成，而所製備的單元子針，其針尖結構卻不具有熱及化學穩定性，容易毀損，也無法再生。本技術則是一種簡便可靠的方法，在同一腔體內重生超過百次，因此本發明與現有已知技藝相較，極具工業應用價值。

可能的應用範圍：

當銥單元子針為離子束源時，可應用於：

1.  聚焦離子束
2. 離子顯微儀
3. 二次離子質譜儀
4. 離子佈植機
5. 離子顯微儀等。

當銥單元子針為電子槍時，可用於：

1. 電子全像術
2. 場發射電子顯微鏡
3. 掃瞄探針顯微儀
4. 電子能量光譜儀
5. 電子繞射顯微鏡
6. 低能量電子顯微儀
7. 電子干涉儀
8. 電子微影機

此項發明的優點：

以真空附氧法製備單顆原子針，具簡易、可靠、低成本、可量化生產等特點。

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