本院覽號：02A-940705
創作人：黃英碩、胡恩德、黃光裕
智財權：TW I264520 、US 7,247,827 B1
摘要：
本創新量測機制之光路架構可同時針對物體位置平移與兩軸角度偏折變化作非接觸式之精密量測，可應用至原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope)、奈米測距、奈米定位系統、超精密定位回饋訊號偵測、大面積樣品形貌之奈米級檢測。
可能的應用範圍：
半導體、顯示器、精密光學、奈米粉體、奈米材料、光碟製造、生物醫學、或微機電等。
此項發明的優點：
- 製作成本低廉。
- 比同級產品更高之定位解析度。
- 體積小不佔空間。
智財技轉處聯絡人：陳虹遐 / 02-2787-2583 / ethe66@gate.sinica.edu.tw