本院覽號:02A- 931014
創作人:黃英碩、洪紹剛、傅立成、林明彥
智財權:US 7,249,494 B2 、TW I285273
摘要:
傳統的原子力顯微鏡的掃描器帶動樣品來回掃動,樣品沈重時造成掃描速度緩慢。然若運用本設計,運作時樣品完全不需移動,尤其適用於產業界大樣品之快速檢測。
可能的應用範圍:
掃描探針顯微鏡 半導體製程檢測設備 生醫檢測設備
此項發明的優點:
所提出之新技術可適用於平面式掃描器,既有之技術僅可適用於管狀掃描器。其中管狀掃描器會導致碗狀影像扭曲,而平面式掃描器不會。 量測時樣品完全不需移動,可適用於大型沈重樣品,例如12吋晶元、充滿液體之生物樣品培養槽。
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