智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer 智財技轉處 Department of Intellectual Property and Technology Transfer

本院覽號：02A-931109

創作人：黃英碩、胡恩德、黃光裕

智財權：US 7301257 B2

摘要：

長行程奈米級定位致動器，移動行程5mm以上，可達到±0.2％線性度、±1％重複定位精度，機構緊致不佔空間。可以在慣性驅動、摩擦驅動與掃描三種模式之下運作，分別可以達到奈米與原子級解析度。堆疊多個致動器可得到多軸之運動。

可能的應用範圍：

1. SPM探針粗調平台。
2. 長行程奈米級定位致動。
3. 微、奈米級粒子搬移。

此項發明的優點：

1. 製作成本低廉，加工簡便。
2. 比同級產品更高之定位解析度與重複定位精度。
3. 體積小不佔空間。

智財技轉處聯絡人：

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