更新時間: 2021-11-03 11:24:48
本發明開發一系列具極低介電特性之配位化合物及其複合材料,其介電常數可低至2.4。本發明之材料結構中無客體分子,於空氣,水氣中可長時間保持穩定,並且並具高化學穩定性與高熱穩定性。本系列材料與多孔SiO2相容性佳, 為一具前瞻性,高應用性之新型低介電材料。
低介電材料必須滿足諸多嚴格條件,分別為低介電常數,高熱穩定性,以及高化學穩定性。本發明之系列配位聚合物製備容易,成本低廉。具極低介電常數 (k = 2.4),結構中不具客體分子,在空氣中,水氣中極為安定,且具高熱穩定性,於多種化學溶劑下亦能保持結構穩定。 本系列材料和多孔SiO2相容性佳。
本發明之系列配位聚合物具極低介電常數,其介電值甚至低於SiO2和商業SiLKTM。本系列低介電材料合成為自組裝反應,製作簡單,成本遠低於現有技術。結構上無客體分子,可長時間保持穩定。本發明的另一個優點是與氟矽酸鹽玻璃(FSG)相比,這些配位聚合物對各種常用溶劑具有耐受性,並於空氣和濕度條件中不變質。
本發明之材料在一定溫度範圍內保持其低介電特性。
本高潛力之絕緣介電質,可用於所有積體電路元件中。相對於現行所使用的SiLKTM有更多優勢。
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TW I643862
半導體技術發展快速,元件功能強大,但日趨微小,其電路中需要極低介電常數之專門材料,以有效阻隔導線之間產生串音干擾或電荷累積。因此,開發新一代低介電材料為關鍵技術。本發明之配位聚合物製備容易,成本低廉;具極低介電常數,結構穩定,空氣穩定,熱穩定與化學穩定。這些材料顯示其介電常數低於SiO2之特性,且與目前商業所使用之SiLKTM相當。此外,本材料和多孔SiO2相容性佳。因此,本材料為高潛力之絕緣介電質,可用於所有積體電路元件中,有助於半導體技術更進ㄧ步發展。
呂光烈、高亞詮、Shruti Mendiratta、Muhammad Usman
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